方阻測(cè)試儀的結(jié)構(gòu)及原理

1.KDY1A便攜式電阻率測(cè)試儀是用來測(cè)量硅晶塊、晶片的電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

   本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。

   它主要由電器測(cè)量部份（主機(jī)）及四探針頭組成，需要時(shí)可加配測(cè)試架。

   為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測(cè)量電流及電阻率。樣品測(cè)試電流由高精度的恒流源提供，隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1～100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量誤差不超過±3%，在此范圍內(nèi)達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)機(jī)的水平。

2、測(cè)試儀結(jié)構(gòu)及原理

測(cè)試儀主機(jī)由主機(jī)板、前面板、后背板及機(jī)箱組成，數(shù)字表、測(cè)試電流換檔開關(guān)、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開關(guān)、校準(zhǔn)/測(cè)量變換開關(guān)以及電流調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、保險(xiǎn)管及四探針連接插座。機(jī)箱底板上只裝了主機(jī)板。前后面板與主機(jī)板之間的聯(lián)接均采用接插件，便于拆卸維修。

KDY1A型電阻率測(cè)試儀的基本原理是恒流源給探頭1.4探針提供穩(wěn)定的測(cè)量電流I，由2、3探針測(cè)取被測(cè)樣品上的電位差V，